用于半导体制造过程的多组分密度计介绍
该型号在保留 FUD-1 Model-53 的可维护性和高精度在线测量等优点的同时,采用了用于半导体制造过程的小型单元型变送器。
3 个组件中的 2 个组件密度计侧可以实时进行
配备模拟DC 4至20mA(2系统)和数字RS232C作为标准设备
标配测量误差输出和报警输出
标配自诊断功能和错误信息显示
紧凑轻便的单元式变送器可直接安装在线路上
由于使用 PFA 的接液部件的质量和小输出设计,对化学溶液没有影响。
可进行高精度连续测量
免维护,无需定期调整和校准
安装方便,安装过程中无需进行各种调整
通过实时输出轻松反馈过程
颁惭笔工艺中的颁惭笔浆料和氧化剂浓度控制等。
清洗过程中清洗液浓度控制(贬贵+贬狈翱3、贬贵+贬2厂颈贵6等)
蚀刻工艺中蚀刻液浓度控制(罢惭础贬+抗蚀剂、罢惭础贬+厂颈等)
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