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TVS-40T

该设备用于在无油真空下存储 TEM 支架。通过使用该设备，可以大大减少污染物的附着。
由于它们存放在独立的真空室中，因此可以单独取出。TEM 支架端口根据客户的 TEM 支架制造。

对于 TEM 持有人
配备 4 个 TEM 支架端口。我们将创建一个与您的支架匹配的端口。可以对应罢贰惭制造商的特殊支架。
由于独立的排气系统，更换支架时其他存储支架不会暴露在大气中。配备玻璃窗（NW40 法兰）以查看每个支架样品部件

可操作性
配备触摸屏，操作方便。配备程序控制的自动排气顺序和联锁控制。
泵的维护时间显示在屏幕上并通知。

对于选项

灯管加热装置
加热方式：采用带聚光凹镜透镜的卤素灯加热。
散热方式：风扇风冷散热。
温度控制：热电偶测温笔滨顿控制，带电子定时开关。
控制电源尺寸：535 W x 550 D x 185 H
等离子清洗装置
电源：础颁100痴（单相100痴）3础，使用地线叁脚插头
清洗对象：电子束照射沉积的污染物的去除和附着。
气体引入：针阀手动调节，电磁阀翱狈/翱贵贵方式
吹扫等离子气体：兼容空气、氩气、氩气/氧气等
安全措施：采用系统专用保险丝
等离子电源：频率13.56 MHz，输出0 ~ 50 W 可变输出显示 数字仪表
等离子点火指示灯 等离子照射时间控制电子定时器
定时器：0 至 1、2、3、12、30/sec、min、hr 各自由设定。电子定时器
等离子电源尺寸：250W X 300D X 135H 重量 9Kg
等离子枪尺寸：70mmΦ X 220L 等离子枪安装 NW-40
气体：0.08 至 0.1 MPa，管道 1/4" Swagelok（气瓶和减压阀由用户）