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日本办别濒办凯尔化学液体药液温度循环器

 金属イオンの溶出汚染がないインライン型冷却加熱器により、ウェットプロセスに欠かせない 直接循環式薬液恒温装置。

 KELKのケミカルサーキュレータは、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる薬液 の温度を高精度にコントロールするもので、半導体製造のウェットプロセスでは欠かせ ないものとして広くご愛用をいただいてきました。近年の使用薬液の多様化、高メガ ビット化に伴うクリーン度アップのご要求にお応えし、さらにニューアップしました。 （注）高温薬液用としてはCSヒータをお奨めします。

 冷却加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用しており、溶出金属イオン による汚染の心配がなく、表面保護膜も不要のため剥離による能力低下もありません。 2.ゴムOリングが直接液に触れないシール構造のため、酸性液、アルカリ性液など薬液毎 のシール材質の選定が不要です。 3.電子冷熱方式のため、室温付近の温度コントロールに適し且つ高精度です。 4.本装置は国際保護規格IP31に適合しています。 5.装置には、薬液や冷却水の漏れを検知する漏液センサ、異常温度を検知する温度ス イッチを内蔵していますので、安心してご使用いただけます。 ■特

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