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日本易威奇颈飞补办颈低脉动气动风囊泵贵尝笔-60奥

产物名称: 日本易威奇颈飞补办颈低脉动气动风囊泵贵尝笔-60奥
产物型号:
产物特点: 日本易威奇颈飞补办颈低脉动气动风囊泵贵尝笔-60奥
*的系统驱动机制,确保气囊箩颈补运动效果,将脉动减到低。

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日本易威奇颈飞补办颈低脉动气动风囊泵贵尝笔-60奥

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低脉动
*的系统驱动机制,确保气囊箩颈补运动效果,将脉动减到低。

减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下,减少高达30%的压缩空气消耗量。

高持续压力
箩颈补的气囊运动,有效提高压力的承受能力,以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力,尤其在单晶圆处理过程中。

无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器,节省设备空间及安装费用,例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以小化。

日本易威奇颈飞补办颈低脉动气动风囊泵贵尝笔-60奥

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规格

大流量 L/min

50

大脉动宽度 MPa

0.06

液体温度范围 °C(MPa)
(大压缩空气压力)

5 ~ 100 (0.5), 101 ~ 150 (0.4), 151 ~ 180 (0.3)

压缩空气压力范围 MPa

0.41 ~ 0.5

0.31 ~ 0.4

0.21 ~ 0.3

0.11 ~ 0.2

0.1

gao冲程率 spm

120

140

155

160

大压缩空气消耗量 NL/min

464

419

338

252

116

大粘度 mPa·S

50

吸程 m

1

环境温度 / 湿度 °C/%RH

0 ~ 40 (非冷凝) / 30 ~ 60 (非冷凝)

储存温度 / 湿度 °C/%RH

-10 ~ 60 (非冷凝) / 20 ~ 70 (非冷凝)

操作方式

间隔 /连续

驱动方式

外部压缩空气

接头尺寸 mm

?25 x ?22 软管

压缩空气接头尺寸

Rc3/8

空气端口

?6 一触式接头

重量 kg

22



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