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用于显微观察的照明装置，用于检测　最终成品表面上的各种缺陷，如异物、划痕、抛光不均匀、雾度、滑移等，是半导体加工过程中劳动强度的一种。晶圆和液晶板1.可照明样品表面范围在400.000尝虫以上。

　　2.　因使用卤素光源灯的光源，具有色温度高、光照不均的减少及非常穏定鋭利照明的特性。
　　　　

　　3.　冷反射镜受热影响是铝镜的1/3
　　　　

　　4.　二段切换构造，可用按扭切换高照明観察及低照明観察。
　　　　
驰笔-150滨...照度范围辫丑30
驰笔-250滨...照度范围辫丑60
　　　　（驰笔-250滨的通风机可选択螺旋式风扇或管道通风机形）