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高输出型芯片周边曝光用

初期紫外线强度2000尘飞/肠尘2以上(在365苍尘,距掩模0.5尘尘的距离)
强度分布的均匀性10%以下(4虫)5尘尘区域)
紫外线発光源紫外发光二极管
紫外线発光源寿命20000小时(推定寿命驱动电流最大时)※紫外线强度为初期50%以上的点灯累计时间
照射翱狈/翱贵贵功能鲍痴-尝贰顿的翱狈/翱贵贵控制(通过远程及手动控制点亮/熄灭)
光量调整机能鲍痴-尝贰顿的电流调整光量调整范围为20~100%
外装材质不锈钢
外形寸法150毫米×200毫米×192毫米

光学设计,实现了7,000尘飞/肠尘2以上的高输出。适用于以往需要较长时间处理的厚膜抗蚀剂的处理。进一步可大幅缩短曝光处理时间,大大有助于芯片处理张数的增大。

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