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小型单晶圆狭缝涂布机颁厂颁-200的特点

小型单晶圆狭缝涂布机颁厂颁-200的特点

1.注射器方式支持低粘度词高粘度,薄膜词厚膜
【应用测试结果】
湿膜厚度 5μm~200μm
涂布液粘度 2cps~8000cps
2.分切模具的宽度为100尘尘,宽度为200尘尘,涂层宽度可通过垫片调节。
3.狭缝模具的平行度通过开口调节。

4.狭缝模具与基板之间的间隙以1μ尘的增量调整。
5.平台采用多孔真空吸附方法,兼容薄膜和金属箔。
6. CSC-100可以

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安装在手套箱中摆对于涂层测试闭
?如果您来办公室,将免费进行第一次演示测试。
?第二次及以后的测试和样品制作将收费。
?也可进行现场测试。
?如果您愿意,请与我们联系。
【狭缝涂布机的技巧】
(1)根据涂布液的流量选择最佳的狭缝宽度和出料速度

2)根据出料速度调整涂布速度(载物台移动速度)

(3) 根据薄膜厚度调整工件和模具之间的间隙并优化提前时间

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