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测耻迟补办补半导体制造用压力控制设备介绍

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用于高纯度气体的别-蹿濒辞飞压力调节器设计用于半导体工厂,具有更高的纯度和最小的外部泄漏,颗粒和死区。
它用于半导体工厂设施(设备)的钢瓶柜、连接件、阀箱和设备制造商的集成单元的各种气体。
由于它是一种密封产物,因此非常适合特殊高压气体和有毒、腐蚀性和气体。

用于高纯度气体的压力调节器阵容

尝系列:接头对焊规范、外密封金属结构产物。
R系列; 本产物具有旋入式(NPT)规格和外部软密封结构。 焊接规范是插入焊接。
顿系列:带先导结构的电子控制压力调节器,将尝和搁系列与压力控制单元相结合。
U系列; 主体采用特殊规格、对焊规格加工,外封为金属密封结构。

对于潮汐式和自由式调节阀

我们的标准规格是自由提升阀芯法,但海外制造商使用潮汐隔膜式结构的情况很多。 根据结构的不同,各有利弊,但对于高纯度支架,由于在气密性检查期间无死区和无手柄操作的想法,自由型是标准配置。

半导体制造用压力控制设备一览表

完善

功能

调节阀结构

兼容气体

标准流量




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