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半导体晶圆生产中使用的铰接式机器人的振动监测技术

使用铰接式机器人进行生产对于半导体晶圆的生产至关重要。

在这种情况下，机器人在运输过程中对产物的异常影响是一个主要问题，因为它会导致产物质量下降。

因此，我们的产物“3轴加速度传感器惭础3系列"可以检测何时发生异常冲击，因此有将其集成到机器人中的示例。

MA3 系列 3 轴加速度计通过改变模拟电压输出 X、Y 和 Z 方向的加速度。 输出可以导入PLC并通过设置阈值进行判断。

根据判断结果，可以通知异常，在某些情况下，可以停止设备。

“3轴加速度计惭础3系列"有两种类型，通用型和高频型，可以根据产生的加速度的频段进行选择。

此外，可以根据产生的加速度大小选择测量范围。

能够处理高骋和高频的3轴加速度计

易于连接，无需内置放大器结构。

国产，高品质，内部校准 配备齐全的质量支持系统。

1. 压力机异常时自动停机，防止模具损坏和产量损失

• 有广泛的接送支持。 还可以测量压力机的高G高频冲击。

2. 除了加工设备异常的发生外，我们还查明原因并提高产量和生产效率。

• 通过对加速度测量数据等进行频率分析，我们识别出预测异常的部件。

3. 通过将切割设备连接到第叁方笔尝颁（定序器），还可以以较低的引入成本进行异常监测。

• 由于它具有内置放大器，因此只需将其直接连接到已安装的笔尝颁即可进行测量。