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实验用光学镀膜厚度检测设备介绍
实验用光学镀膜厚度检测设备介绍
F3-CS 是测量小样品的最佳测量系统。与测量台集成的测量系统使其易于携带。
只需将样品的测量面朝下放在载物台上即可进行测量，大约1秒即可测量膜厚和折射率。
主要特点
紧凑的尺寸
轻松连接，仅 USB 连接
光学常数分析（折射率/消光系数）
主要用途
| 光学镀膜 | 硬涂层、防滴膜等 |
|---|---|
| 平板 | 有机膜等 |
产物阵容
| 模型 | F3-CS-UV | F3-CS | 贵3-颁厂-近红外 |
|---|---|---|---|
| 测量波长范围 | 190 – 1100nm | 380 – 1050nm | 950 – 1700nm |
膜厚测量范围 | 3nm – 40μm | 15nm – 70μm | 100nm – 250μm |
| 准确性* | ± 0.2% 薄膜厚度 | ± 0.4% 薄膜厚度 | |
| 1纳米 | 2纳米 | 3纳米 | |
*取决于样品和测量条件
测量示例
可以测量从半导体等精密加工产物到眼镜和汽车零件的各种样品的膜厚。
多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
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