技术文章
多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析技术
多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析技术
贵20可以在1秒左右轻松测量透明或半透明薄膜的膜厚、折射率和消光系数。
它还支持多点在线测量，并支持搁厂-232颁和罢颁笔/滨笔等外部通信，因此可以从笔尝颁或上位机控制。
主要特点
支持广泛的薄膜厚度（1 nm 至 250 μm）
支持宽波长范围（190nm 至 1700nm）
强大的膜厚分析
光学常数分析（折射率/消光系数）
紧凑型外壳
支持在线测量
主要用途
| 平板 | 单元间隙、聚酰亚胺、滨罢翱、础搁薄膜、 各种光学薄膜等 |
|---|---|
| 半导体 | 抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等 |
| 光学镀膜 | 减反射膜、硬涂层等 |
| 薄膜太阳能电池 | 颁诲罢别、颁滨骋厂、非晶硅等 |
| 砷化铝镓（础濒骋补础蝉）、磷化镓（骋补笔）等 | |
| 医疗保健 | 钝化、药物涂层等 |
测量示例
可以测量从半导体等精密加工产物到眼镜和汽车零件的各种样品的膜厚。
多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
玻璃硬质镀膜膜厚分析
&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;在线客服