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1. 185LE

2.FY-18

高辉度ハロゲン光源装置

高辉度ハロゲン光源装置は、半導体ウエハーおよび液晶基板の加工途中で最も
人手が掛る最终仕上面の异物、スクラッチ、研磨ムラ、ヘイズ、スリップ等の
様々な欠陥検出をするためのマクロ観察用照明装置です。

概要

　　1.　试料表面を400,000尝虫以上に照明することができます。

　　2.　光源にはハロゲンランプを使用しているため色温度は高く、照明ムラが少なく
　　　　、非常に安定したシャープな照明となっています。

　　3.　コールドミラーの使用により热の影响が従来のアルミミラーの1/3と极端に
　　　　少なくなっています。

　　4.　2段切换机构により、高照度観察、低照度観察をワンタッチで切换えることが
　　　　できます。
　　　　驰笔-150滨???照度范囲　&辫丑颈;30
　　　　驰笔-250滨???照度范囲　&辫丑颈;60
　　　　（驰笔-250滨はプロペラファン型とダクトファン型を选ぶことができます。）