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日本ATOMAX精密电子部品用二流体喷嘴础惭6厂-滨厂痴

业种别使用例【半导体?电子部品製造】

半导体製造分野におけるアトマックスノズルの使用例

精密コーティング

少量の液を精密に微粒化喷雾可能なため、半导体や电子部品製造工程などでスプレイ涂布による薄膜形成が可能です。
スプレイコーティングは制御が简単であり机器构成が他の涂布システムに比较してシンプル。厚涂りから薄膜でも、ひとつのノズルで条件范囲の幅が広いところが特徴です。

精密机器の洗浄作业

粒度分布がシャープなために、精度が要求する精密洗浄に适しております。アトマックスノズルは、微粒化に必要な圧缩気体の流量も従来ノズルに比较して少ないため低インパクト、喷射流速も穏やかです。

特异な液剤を使用したコーティング作业

主要构成部品が２部品。とてもシンプルな部品构成のため标準ノズル材质は厂鲍厂316尝ですが、使用する环境に合わせた材质での製作も可能です。また、接液部にはＯリングの使用はありません。

微细粒子を用いた処理作业

固形分を含んだスラリー液の连続喷射が容易にできます。スプレイで微粒化を得るためには、小さなオリフィスから喷射することが定説ですが、アトマックスノズルは、大口径で微粒化喷射が可能です。

アトマックスノズル AM型

アトマックスノズル础惭型は、极めて少ない液剤流量を精密に喷雾し、平均粒子径5&尘耻;尘程度の微粒子を得ることができます。非常に小型なノズルで、20?750ワットのエアーコンプレッサーで运転が可能です。

主な使用用途として、半导体ウェハへの精密スプレイ?电子部品?机能部品材料の製造过程においての极少量の喷射?散布、コーティングが挙げられます